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1.
设计并制作了一个硅微机械双终端音叉谐振器,主要工作有:1.研究硅微机械双终端音叉式谐振器的结构与谐振频率的关系并设计了一个双终端音叉谐振器;2.对所设计的音叉谐振器的一端施加轴向力后,音叉谐振器的输出频率变化进行了分析,并用有限元分析软件进行了仿真;3对制作的DETF进行测试,其性能基本符合设计要求。  相似文献   
2.
针对谐振式陀螺分别建立了一端口和多端口输入输出系统等效电路模型,从理论上分析了振动系统输出信号的特点及对驱动检测电路的要求,并结合设计参数,估算出系统的传递函数和等效电路模型的参数,等效电路模型的仿真值与实际值很接近。  相似文献   
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