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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
正弦型硅薄膜在拉伸下的应变分析
作者姓名:
俞天
张威
张若愚
作者单位:
扬州大学机械工程学院
基金项目:
国家自然科学基金项目:柔性电子器件中波纹状界面的力学行为表征与破坏机理研究(项目编号:11372269)
摘 要:
运用workbench有限元仿真软件对硅薄膜在拉伸状态的应变进行分析,分别得出波峰波谷的最大和最小应变,并观察应变分布情况,比较不同处波峰波谷的应变值。
关 键 词:
薄膜屈曲
PDMS
有限元仿真
应变分布
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