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| 离子束加工 | |
| 作者姓名： | J.KACZMAREK 吴玉发 |
| 摘 要： | 一、等离子体及离子束的形成 (一)等离子体发生器这里所谓等离子体,是指以全部或局部电离为特征的高温状态下的气体。把电场施加到电离的气体上,便出现分离现象而产生一股离子流,而且使这股离子束得到加速,正如电子束能被加速一样。根据加速电势的大小,可以把产生离子体及其离子束的装置区分为两种: |
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