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电感耦合等离子体系统的漂移与监控
引用本文:刘文龙,张国庆,刘臣辉. 电感耦合等离子体系统的漂移与监控[J]. 扬州大学学报(农业与生命科学版), 1996, 0(3)
作者姓名:刘文龙  张国庆  刘臣辉
作者单位:江苏农学院理化测试中心
摘    要:对影响电感耦合等离子体系统稳定性的射频功率、氩气流速、进样条件等因素进行了考察,提出了判断和减小ICP系统漂移的方法。

关 键 词:电感;耦合;等离子体;漂移

DRIFT IN ICP SYSTEM AND ITS CONTROL
Liu Wenlong Zhang Guoqing Liu Chenhui. DRIFT IN ICP SYSTEM AND ITS CONTROL[J]. Journal of Yangzhou University(Agricultural and Life Science Edition), 1996, 0(3)
Authors:Liu Wenlong Zhang Guoqing Liu Chenhui
Abstract:Some factors influencing ICP system stability are examined in this paper. These factors are R. F. power, coolant flow, sample introduction etc. The methods to diagnose and reduce drift are proposed.
Keywords:
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