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| 集成微电容式无线加速度传感器的设计应用探讨 | |
| 作者姓名： | 丛昕 王少华 |
| 作者单位： | 阿继集团哈尔滨泛微电子工程公司;阿继集团哈尔滨泛微电子工程公司 |
| 摘 要： | 介绍了一种基于MEMS技术制作的微电容式无线加速度传感器在大型建筑结构振动测试系统中的应用. |
| 关 键 词： | MEMS 无线加速度传感器 振动测试 |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
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