| TiO2 薄膜折射率的调控方法 |
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| 引用本文： | 周灵平,罗小兰,朱家俊,彭 坤,李德意,李绍禄. TiO2 薄膜折射率的调控方法[J]. 湖南农业大学学报(自然科学版), 2011, 38(9): 59-63 |
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| 作者姓名： | 周灵平 罗小兰 朱家俊 彭 坤 李德意 李绍禄 |
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| 作者单位： | （湖南大学 材料科学与工程学院，湖南 长沙 410082） |
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| 摘 要： | 采用电子束蒸发技术及其辅助工艺制备了TiO 2 薄膜，利用X射线衍射（XRD）、X射线光电子能谱（XPS）和原子力显微镜（AFM）对薄膜的组织结构进行了表征，采用紫外可见分光光度计研究了TiO 2 薄膜的折射率变化.结果表明：传统电子束蒸发镀制的TiO 2 薄膜的折射率低于块体值，通过调节氧气压、沉积速率和衬底温度可在1.97～2.22范围内调控其折射率；采用离子束辅助轰击可使薄膜致密化，获得折射率在2.06～2.42范围内变化的TiO 2 薄膜；利用斜角入射沉积可控制薄膜生长角度与孔隙率，实现折射率在 1.71 ～2.18范围内的调控.
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| 关 键 词： | 薄膜；折射率；电子束蒸发 |
Regulation of the Refractive Index of TiO 2 Films |
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| ZHOU Ling -ping,LUO Xiao -lan,ZHU Jia -jun,PENG Kun,LI De -yi,LI Shao -lu. Regulation of the Refractive Index of TiO 2 Films[J]. Journal of Hunan Agricultural University, 2011, 38(9): 59-63 |
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| Authors: | ZHOU Ling -ping LUO Xiao -lan ZHU Jia -jun PENG Kun LI De -yi LI Shao -lu |
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| Affiliation: | (College of Materials Science and Engineering, Hunan Univ, Changsha, Hunan 410082, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | films refractive index electron beam evaporation |
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