基于液体静动压的超精密机床头架设计

目前超精密机床和仪器的主轴回转精度已经从微米级向着亚微米甚至毫微米级发展,因此采用何种轴系结构来达到这种精度是设计和制造者所关注的一个极其重要的问题。基于此,在设计超精密轴系过程中参考已有的国内外静压轴系,设计了一种回转精度极高的半球液体静压轴承;针对超精机床主轴头架,设计超精车床及磨床的机械结构,确定其液压工作原理,采用静压球轴系和静压止推轴系的结构,完成其三维结构设计及建模,各参数选取计算,液压油路设计,外部液压原理图等部分。