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多晶硅生产工艺及有害因素
作者单位:
;1.黄河水电新能源分公司;2.陕西紫兆秦牛锅炉有限责任公司
摘 要:
多晶硅主要用于半导体和太阳能光伏。随着信息化时代的发展,电子级多晶硅和太阳能级多晶硅发展迅速。本文介绍了多晶硅的生产工艺及其发展,以及多晶硅生产工艺中的危险因素和对环境的影响。
关 键 词:
多晶硅
生产工艺
改良西门子法
有害因素
Polysilicon Production Technology and Harmful Factors
Abstract:
Keywords:
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