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超精密直径和形状综合测量标准装置
摘 要:
中国计量科学研究院成功研制出国内首台超精密直径和形状综合测量标准装置。精密回转体零件是构成现代精密机械的最基本、最主要零件之一,是保证精密装备精度的关键部件。近年来,随着超精密制造业的高速发展,我国现行的测量水平和装置,已不能满足超精密制造业对精密回转体零件的尺寸精度、几何形状精度、表面质量等的测量需求,限制了超精密仪器生产链的形成。
关 键 词:
测量标准装置
超精密
计量科学研究
直径
制造业
形状精度
表面质量
精密回转体零件
测量水平
精密仪器
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