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| 基于AFM的纳米机械刻蚀加工研究 | |
| 作者姓名： | 蒋洪奎 朱春耕 胡礼广 姚汤伟 |
| 作者单位： | 浙江师范大学交通学院,321010,金华市;浙江师范大学交通学院,321010,金华市;浙江师范大学交通学院,321010,金华市;浙江师范大学交通学院,321010,金华市 |
| 摘 要： | 结合原子力显微镜实验及分子动力学模拟,研究刻蚀加工机理,分析了针尖弹性模量、几何形状、磨损等工具因素,刻蚀力、进给量、加工速度等工艺因素,加工材料性质、表面质量等工件因素对加工的影响及作用机理。 |
| 关 键 词： | 纳米机械 刻蚀 分子动力学模拟 原子力显微镜 |
| 修稿时间： | 2006-05-29 |
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