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基于AFM的纳米机械刻蚀加工研究
作者姓名:蒋洪奎  朱春耕  胡礼广  姚汤伟
作者单位:浙江师范大学交通学院,321010,金华市;浙江师范大学交通学院,321010,金华市;浙江师范大学交通学院,321010,金华市;浙江师范大学交通学院,321010,金华市
摘    要:结合原子力显微镜实验及分子动力学模拟,研究刻蚀加工机理,分析了针尖弹性模量、几何形状、磨损等工具因素,刻蚀力、进给量、加工速度等工艺因素,加工材料性质、表面质量等工件因素对加工的影响及作用机理。

关 键 词:纳米机械  刻蚀  分子动力学模拟  原子力显微镜
修稿时间:2006-05-29
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