| 纳米三坐标测量机误差分离方法 |
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| 引用本文： | 杨洪涛,费业泰,陈晓怀.纳米三坐标测量机误差分离方法[J].农业机械学报,2008,39(3):140-143. |
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| 作者姓名： | 杨洪涛 费业泰 陈晓怀 |
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| 作者单位： | 1. 安徽理工大学机械工程学院,232001 淮南市
2. 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,230009 合肥市 |
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| 摘 要： | 根据纳米三坐标测量机结构、误差分布特征和精度要求,选用微型三光束平面激光干涉仪分离测量机误差.设计了误差分离装置,实现了干涉仪平移、偏摆、俯仰和垂直高度的调整以及反射镜垂直角度的精密调整.从原理上分析了45°反射镜光路转折对干涉仪测量结果的影响,实验结果证实了该装置可以实现标准量示值误差、导轨直线度线值误差和俯仰、偏摆、滚转误差的一次性分离,减小传统仪器分离方法由于发热、振动和非实时测量带来的附加误差,误差修正精度可以提高5倍.
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| 关 键 词： | 纳米三坐标测量机 误差分离装置 设计 试验 |
| 修稿时间： | 2007年2月6日 |
Error Separating Method of Nano Coordinate Measuring Machine |
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| Yang Hongtao,Fei Yetai,Chen Xiaohuai.Error Separating Method of Nano Coordinate Measuring Machine[J].Transactions of the Chinese Society of Agricultural Machinery,2008,39(3):140-143. |
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| Authors: | Yang Hongtao Fei Yetai Chen Xiaohuai |
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