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| 三氯氢硅提纯中如何去除磷硼杂质 | |
| 引用本文： | 张友谊.三氯氢硅提纯中如何去除磷硼杂质[J].山东饲料,2015(8). |
| 作者姓名： | 张友谊 |
| 作者单位： | 河南理工大学物理化学学院焦作煤业<集团>开元化工有限责任公司 河南 焦作 454191 |
| 摘 要： | 在三氯氢硅中，磷、硼杂质的存在，不仅影响三氯氢硅材料质量，也降低三氯氢硅产能。优化三氯氢硅提纯工艺，去除对磷、硼杂质，不仅可以降低能耗，也可以更好的控制三氯氢硅质量，提高产能。以下本篇浅析在三氯氢硅提纯中如何去除磷硼杂质。 |
| 关 键 词： | 提纯 三氯氢硅 除硼 除磷 |
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