化学气相沉积法制备(类)金刚石薄膜专利技术分析

本文主要对化学气相沉积法制备(类)金刚石薄膜专利申请中专利申请的年度变化趋势、专利申请国家/地区布局、制备方法、申请人类型、专利技术改进方向、国内外主要申请人技术演进和发展等方面进行分析。研究表明,日本、美国等在该领域处于绝对领先地位,近年来国内的研究已取得了重大的进展,正在逐渐缩小与国外技术差距,切削加工和耐磨部件等应用领域是申请热点。