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DLC,TiN薄膜的环境摩擦学特性研究
引用本文:祝 闻,聂朝胤,冉春华,金义栋,赵 洋.DLC,TiN薄膜的环境摩擦学特性研究[J].西南农业大学学报,2014,36(1):084-090.
作者姓名:祝 闻  聂朝胤  冉春华  金义栋  赵 洋
作者单位:西南大学材料科学与工程学院,重庆400715
基金项目:国家自然科学基金资助项目(NSFC.51271153).
摘    要:采用非平衡磁控溅射及电弧离子镀技术在304奥氏体不锈钢表面沉积了类金刚石(DLC)及TiN 薄膜.用纳 米压痕仪、表面粗糙度仪、扫描电镜等检测了薄膜的显微硬度、表面粗糙度及表面形貌.并用球—盘式摩擦磨损试 验仪评价了不同介质(干摩擦、水润滑、油润滑)条件下薄膜的摩擦磨损性能.结果表明:在干摩擦及水润滑条件 下,TiN,DLC两种薄膜均明显改善了基体的耐磨性和润滑性,DLC薄膜性能更佳.但相对于干摩擦,在水润滑条 件下,DLC薄膜的摩擦系数反而有所升高,这主要源于H2O 与O2 在摩擦过程中参与反应,降低了薄膜的力学性 能和化学惰性从而增加了粘着效应.在油润滑条件下,DLC,TiN 薄膜与基体摩擦系数相近甚至略高,薄膜的沉积 虽然有利于基体耐磨性能的提高,但并不能改善基体的润滑特性.

关 键 词:非平衡磁控溅射  电弧离子镀  DLC薄膜  TiN薄膜  摩擦学特性
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