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| IC级晶锭游离磨料电解磨削多线切割工艺(FAEMS)研究 | |
| 作者单位： | ;1.中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 摘 要： | 本文简单的介绍IC级晶锭FAEMS的原理,及与FAMS1]在硅片总厚度差翘曲度表面质量的对比试验,验证加入电解后,FAEMS可以更好的改善切割工艺,提高加工质量和效率。 |
| 关 键 词： | 游离磨料 多线切割 电解 总厚度差 翘曲度 表面质量 |
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