| 微机械谐振器的设计及实现 |
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| 引用本文： | 朱一纶.微机械谐振器的设计及实现[J].金陵科技学院学报,2005,21(4):18-21. |
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| 作者姓名： | 朱一纶 |
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| 作者单位： | 金陵科技学院,江苏,南京,210001 |
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| 摘 要： | 设计并制作了一个硅微机械双终端音叉谐振器，主要工作有：1．研究硅微机械双终端音叉式谐振器的结构与谐振频率的关系并设计了一个双终端音叉谐振器；2．对所设计的音叉谐振器的一端施加轴向力后，音叉谐振器的输出频率变化进行了分析，并用有限元分析软件进行了仿真；3对制作的DETF进行测试，其性能基本符合设计要求。
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| 关 键 词： | MEMS 双端音叉谐振器 振荡器 谐振频率 |
| 文章编号： | 1672-755X(2005)04-0018-04 |
| 修稿时间： | 2005年9月10日 |
Design and Implementation of a Double-ended Tuning Fork Resonant Oscillator |
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| ZHU Yi-lun.Design and Implementation of a Double-ended Tuning Fork Resonant Oscillator[J].Journal of Jinling Institute of Technology,2005,21(4):18-21. |
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| Authors: | ZHU Yi-lun |
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| Abstract: | A novel micromachined resonant oscillator is presented,whose main works include: 1.The relation between resonant frequency and structure of the double ends tuning fork(DETF) oscillator is studied and a DETF oscillator is made in our lab.2.The change of the output frequency of the DETF oscillator is analyzed when an axis force is applied and the result is verified by finite element analysis simulating.3.The prototype of DETF oscillator is tested and its performance accords with the design goal. |
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| Keywords: | MEMS DETF oscillator resonant frequency |
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