| 硅基Ba0.7Sr0.3TiO3介质层的电润湿效应 |
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| 引用本文： | 江博,梁忠诚,陈陶. 硅基Ba0.7Sr0.3TiO3介质层的电润湿效应[J]. 金陵科技学院学报, 2010, 26(1): 1-5 |
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| 作者姓名： | 江博 梁忠诚 陈陶 |
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| 作者单位： | 南京邮电大学光电工程学院微流控光学技术研究中心,江苏南京,210003 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60878037) |
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| 摘 要： | 采用特定的单晶硅基片/Ba0.7Sr0.3TiO3层微透镜阵列内芯材料,研究其表面的介质上电润湿(EWOD)特性。Ba0.7Sr0.3TiO3是一种钙钛矿结构的铁电体,它具有高的介电常数和低的漏电流特性,其相对介电常数可高达180。通过溶胶——凝胶的方法在单晶硅基底上制备了Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜,分析对比了不同Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜厚度下的电润湿效应。实验结果表明,导电液滴接触角的余弦值随电压的增大而增大;在Ba0.7Sr0.3TiO3厚度不同的情况下Ba0.7Sr0.3TiO3层厚度与接触角余弦值变化率成反比。在绝缘介电层相同厚度情况下,Ba0.7Sr0.3TiO3绝缘介电层的性能要优于派瑞林、氮化硅、二氧化硅绝缘介电层的性能。相关结论验证了Ba0.7Sr0.3TiO3在微透镜阵列中的可行性以及其相对于其它绝缘材料的优越性。
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| 关 键 词： | Ba0.7Sr0.3TiO3 电润湿效应 绝缘介电层参数 |
Electrowetting-on-dielectric on the Ba0.7Sr0.3TiO3 Dielectric Layer of the Silicon Substrate |
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| JIANG Bo,LIANG Zhong-chen,CHEN Tao. Electrowetting-on-dielectric on the Ba0.7Sr0.3TiO3 Dielectric Layer of the Silicon Substrate[J]. Journal of Jinling Institute of Technology, 2010, 26(1): 1-5 |
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| Authors: | JIANG Bo LIANG Zhong-chen CHEN Tao |
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| Affiliation: | Nanjing University of Posts and Telecommunications/a>;Nanjing 210003/a>;China |
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| Abstract: | The properties of Electrowetting-on-dielectric(EWOD) on the core-surface of optofluidic lens-array with specific single crystal silicon substrate/barium strontium titanate layer material are one of the important research topics in optofluidics.Ba0.7Sr0.3TiO3 is a kind of Perovskite ferroelectrics.It possesses high dielectric constant and low leakage current.The dielectric constant of BST can reach up to 180.In this experiment,Ba0.7Sr0.3TiO3 film was prepared with the method of sol-gel on the single crystal ... |
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| Keywords: | Ba0.7Sr0.3TiO3 electrowetting-on-dielectric parameters of insulating layer |
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