烧结钕铁硼磁控溅射氧化物薄膜性能研究

采用直流脉冲磁控溅射法,在烧结钕铁硼磁体表面沉积了厚度约为700nm的氧化锆、氧化铬、氧化铝、氧化钛薄膜。使用扫描电镜、纳米压痕仪分别表征了薄膜的形貌、硬度和弹性模量。采用电化学工作站测试了薄膜的动电位极化曲线,考查了其防腐蚀性能。研究结果表明在施加离子束辅助条件下薄膜更加致密,性能较好。其中氧化钛薄膜硬度最高,达23Gpa。由于氧化铝薄膜为非晶结构,在防腐蚀能力方面表现更出色,相比于基底其腐蚀电流密度降低45倍之多。