MOVPE反应室电磁场的有限元模拟与分析 |
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引用本文: | 李海玲,张书玲,孙艳勤.MOVPE反应室电磁场的有限元模拟与分析[J].北方牧业,2014(12):93-94,148. |
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作者姓名: | 李海玲 张书玲 孙艳勤 |
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作者单位: | 山东电子职业技术学院基础部 |
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摘 要: | 本文利用有限元法模拟了生长氮化镓(GaN)材料所用的金属有机物化学气相淀积(MOVPE)设备反应室内的电磁场分布。主要对影响电磁场分布的感应加热条件,如电流频率和电流强度进行了分析,给出了磁场磁矢势和焦耳热分布,以及它们分别与电流频率和电流强度的关系。通过对立式和卧式MOVPE反应室的焦耳热的分布的比较,得出在温度分布均匀性方面,卧式MOVPE反应室感应加热优于立式反应室。
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关 键 词: | MOVPE 电磁场 有限元 感应加热 焦耳热 |
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