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微型电容式振动能量采集器设计
作者姓名:尹春风  姜世杭  顾卿赟
作者单位:扬州大学机械工程学院,江苏 扬州,225127
基金项目:扬州大学大学生科技创新基金项目;项目编号C13004
摘    要:电容式振动能量采集器通过电容量的改变,由此引起电压或者电量的改变,通过负载,形成电流,将振动能转化成电能,其结构简单、加工方便、无有害气体排放,是一种新型的节能环保装置。但是如何简化电容式能量采集器的结构,并且让其结构更为坚固可靠,一直是需要解决的问题。采用聚二甲硅氧烷(PDMS)作为采集器的弹性材料,设计了一台新型电容式微型振动能量采集器,通过试验,在负载1 g和100 Hz的振动频率下,能产生39.4μW的能量。

关 键 词:电容式  微型  能量采集器  MEMS工艺  驻极体
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