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压电驱动微悬臂梁与基底粗糙面间多次接触分析
引用本文:黄健萌,黄靖. 压电驱动微悬臂梁与基底粗糙面间多次接触分析[J]. 农业机械学报, 2015, 46(9): 368-372
作者姓名:黄健萌  黄靖
作者单位:福州大学,福州大学
基金项目:国家自然科学基金资助项目(51205062)和福建省自然科学基金资助项目(2011J01299)
摘    要:基于压电原理,在考虑黏着、微凸体间相互作用、基底弹塑性变形及微悬臂梁弹性恢复等基础上,运用ABAQUS动态模拟分析了压电薄膜驱动下微悬臂梁末端与基底粗糙面间的接触。结果表明:每次压电驱动接触过程中均存在数次明显的接触-分离情形,梁与基底在无电压作用后2~4μs内仍出现黏合,分离期间粗糙表面发生小部分的弹塑性变形,其中最大残余应力值处于接触区域边缘;随着压电驱动次数的增加,基底发生塑性变形区域不断向两边扩展,表面间黏合作用增强,影响系统接触的可靠性。

关 键 词:压电薄膜 微悬臂梁 粗糙面 黏合接触
收稿时间:2014-12-10

Multiple-contact Analysis between Microcantilever and Substrate Rough Surface Driven by Piezoelectric
Huang Jianmeng and Huang Jing. Multiple-contact Analysis between Microcantilever and Substrate Rough Surface Driven by Piezoelectric[J]. Transactions of the Chinese Society for Agricultural Machinery, 2015, 46(9): 368-372
Authors:Huang Jianmeng and Huang Jing
Affiliation:Fuzhou University and Fuzhou University
Abstract:
Keywords:Piezoelectric film Microcantilever Rough surface Bonding contact
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