| 基于模态叠加法的静电微泵吸合现象 |
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| 引用本文： | 应济,李俊,林谢昭,徐亮. 基于模态叠加法的静电微泵吸合现象[J]. 农业机械学报, 2010, 41(5). DOI: 10.3969/j.issn.1000-1298.2010.05.040 |
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| 作者姓名： | 应济 李俊 林谢昭 徐亮 |
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| 作者单位： | 浙江大学机械工程学系,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，浙江省自然科学基金重点项目 |
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| 摘 要： | 利用数值计算和模态叠加法建立了静电致动泵膜的降阶模型,使复杂的吸合过程求解简单化.通过与已有文献中的结果和三维有限元计算值的比较,表明降阶模型能减少求解时间并且具有很高的精度.利用降阶模型参数化研究了残余应力、泵膜厚度、泵膜半径、极板初始间隙对泵膜吸合电压和吸合位置的影响,得到了泵膜设计的准则,为静电微泵的优化设计提供理论基础.
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| 关 键 词： | 微泵 吸合 静电 模态叠加 降阶模型 |
Investigation of Electrostatic Micropump Pull-in Phenomena Based on Mode Superposition Method |
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| Ying Ji,Li Jun,Lin Xiezhao,Xu Liang. Investigation of Electrostatic Micropump Pull-in Phenomena Based on Mode Superposition Method[J]. Transactions of the Chinese Society for Agricultural Machinery, 2010, 41(5). DOI: 10.3969/j.issn.1000-1298.2010.05.040 |
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| Authors: | Ying Ji Li Jun Lin Xiezhao Xu Liang |
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