| 基于模态叠加法的静电微泵吸合现象 |
| |
| 引用本文： | 应济,李俊,林谢昭,徐亮.基于模态叠加法的静电微泵吸合现象[J].农业机械学报,2010,41(5). |
| |
| 作者姓名： | 应济 李俊 林谢昭 徐亮 |
| |
| 作者单位： | 浙江大学机械工程学系,杭州,310027 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，浙江省自然科学基金重点项目 |
| |
| 摘 要： | 利用数值计算和模态叠加法建立了静电致动泵膜的降阶模型,使复杂的吸合过程求解简单化.通过与已有文献中的结果和三维有限元计算值的比较,表明降阶模型能减少求解时间并且具有很高的精度.利用降阶模型参数化研究了残余应力、泵膜厚度、泵膜半径、极板初始间隙对泵膜吸合电压和吸合位置的影响,得到了泵膜设计的准则,为静电微泵的优化设计提供理论基础.
|
| 关 键 词： | 微泵 吸合 静电 模态叠加 降阶模型 |
Investigation of Electrostatic Micropump Pull-in Phenomena Based on Mode Superposition Method |
| |
| Ying Ji,Li Jun,Lin Xiezhao,Xu Liang.Investigation of Electrostatic Micropump Pull-in Phenomena Based on Mode Superposition Method[J].Transactions of the Chinese Society of Agricultural Machinery,2010,41(5). |
| |
| Authors: | Ying Ji Li Jun Lin Xiezhao Xu Liang |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
