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高性能单晶硅谐振压力传感器
摘 要:
高性能单晶硅谐振压力传感器,采用电磁激励和电磁拾振方式工作,输出为频率信号,抗干扰能力强,稳定性好,不需A/D转换,既能测量绝压,也能测量差压,精度0.1%,其量程可根据具体应用需求通过调整制作工艺参数实现。
关 键 词:
稳定性
高性能
压力传感器
抗干扰能力
压力测量
电磁激励
单晶硅
工艺参数
谐振
频率信号
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