MOVPE反应室电磁场的有限元模拟与分析

本文利用有限元法模拟了生长氮化镓(GaN)材料所用的金属有机物化学气相淀积(MOVPE)设备反应室内的电磁场分布。主要对影响电磁场分布的感应加热条件,如电流频率和电流强度进行了分析,给出了磁场磁矢势和焦耳热分布,以及它们分别与电流频率和电流强度的关系。通过对立式和卧式MOVPE反应室的焦耳热的分布的比较,得出在温度分布均匀性方面,卧式MOVPE反应室感应加热优于立式反应室。