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为了提高多晶硅圆柱锭磨削质量和效率,降低劳动强度,对现有的多晶硅圆柱锭磨床进行改进,设计了定位夹紧机构,确定液压传动为夹紧动力源,分析了定位夹紧机构的合理性,并用有限元分析软件ANSYS对磨床整机进行了静力分析,验证了多晶硅锭外圆磨床改进设计的可行性. 相似文献
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