TiO2 薄膜折射率的调控方法

采用电子束蒸发技术及其辅助工艺制备了TiO 2 薄膜,利用X射线衍射（XRD）、X射线光电子能谱（XPS）和原子力显微镜（AFM）对薄膜的组织结构进行了表征,采用紫外可见分光光度计研究了TiO 2 薄膜的折射率变化.结果表明：传统电子束蒸发镀制的TiO 2 薄膜的折射率低于块体值,通过调节氧气压、沉积速率和衬底温度可在1.97～2.22范围内调控其折射率;采用离子束辅助轰击可使薄膜致密化,获得折射率在2.06～2.42范围内变化的TiO 2 薄膜;利用斜角入射沉积可控制薄膜生长角度与孔隙率,实现折射率在 1.71 ～2.18范围内的调控.     

消费级无人机在丽江市古城区天保工程项目成效监测中的应用

指出了自2000年正式启动天保工程以来,丽江市古城区作为金沙江流域的重点生态功能区一直大力实施人工造林、森林抚育、封山育林等项目。在历年的资金保障和贯彻实施下,各类项目成效显著,同时也对基层林业部门的成效监测和成果验收形成了明显的挑战。从基层出发,阐述了消费级无人机在项目成效监测中的低门槛、低成本应用,以大疆Mavic2无人机实际应用为例,证实了其可行性和可推广性。     

陶瓷表面金属化Cu薄膜应力调控

利用直流磁控溅射方法在AlN陶瓷表面沉积了单层Cu薄膜,采用X射线衍射方法研究了沉积温度对薄膜应力的影响,并用有限元方法模拟不同温度下沉积的Cu薄膜中的热应力及变形分布情况.沉积的薄膜应力表现为张应力,并随沉积温度的升高先增大后减小,沉积温度为200 ℃左右时,薄膜应力达到最大值;在AlN表面引入过渡界面可明显地减小薄膜应力,并根据微观结构和物理性质的变化等对薄膜应力的变化进行了解释.