液流悬浮超光滑纳米加工试验

建立了超光滑表面加工的液流悬浮加工系统,并简述了液流悬浮超光滑加工系统及其工作原理。试验实现了光学材料k9玻璃的亚微米去除,并在其表面上获得了纳米级的超光滑表面。试验结果表明,采用液流悬浮加工技术对光学材料进行超光滑加工是一种有效方法。     

液流悬浮超光滑加工硬脆材料去除机理

结合动态压痕断裂力学和粒子冲击磨损理论,建立了纳米磨粒冲击工件表面微观粗糙峰的理论模型,研究了加工区内材料的去除机理,并进行了铝合金和K9玻璃液流悬浮加工实验.理论分析和实验结果表明,液流悬浮超光滑加工是加工液中的纳米磨粒冲击工件表面实现对表面粗糙峰微去除的过程,能够在K9玻璃表面获得无加工变质层和亚表面损伤的纳米级超光滑表面.