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1
1.
基于AFM的微机械表面抗粘附薄膜性能
总被引:2,自引:0,他引:2
付永忠
丁建宁
杨继昌
《农业机械学报》
2006,37(12):182-184,154
用原子力显微镜(AFM)考察施加OTS分子润滑膜前后Si(100)表面的粘附、摩擦性能,并对比了空气相对湿度、扫描速度对粘附、摩擦性能的影响效果。结果表明,施加OTS膜后可以有效降低Si(100)表面粘附力和摩擦系数,呈现较好的润滑性能,且受空气相对湿度变化的影响较小。另外,适当提高扫描探针扫描速度,可以改善Si(100)表面和OTS膜表面摩擦性能,降低摩擦力。
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