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据新兴芯片技术领域的专家表示,纳米机电系统(简称NEMS)虽然目前还默默无闻,但在未来可能成为半导体产业界的要角。
Sematech制造联盟新兴技术副总裁RajJammy指出,其中的一个理由是,成熟的MEMS技术已经为各种不同的传感器,在iPhone等新潮电子产品中的应用开拓了庞大新市场,不过MEMS是针对特殊应用的组件,NEMs则能提供整套的潜在应用方案。 相似文献