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| 多晶硅生产工艺及有害因素 | |
| 作者单位： | ;1.黄河水电新能源分公司;2.陕西紫兆秦牛锅炉有限责任公司 |
| 摘 要： | 多晶硅主要用于半导体和太阳能光伏。随着信息化时代的发展,电子级多晶硅和太阳能级多晶硅发展迅速。本文介绍了多晶硅的生产工艺及其发展,以及多晶硅生产工艺中的危险因素和对环境的影响。 |
| 关 键 词： | 多晶硅 生产工艺 改良西门子法 有害因素 |
Polysilicon Production Technology and Harmful Factors |
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