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| 衬底温度对合成金刚石薄膜的影响 | |
| 引用本文： | 杨传径,陈庆东,李新忠.衬底温度对合成金刚石薄膜的影响[J].农业工程技术:农产品加工,2008(4). |
| 作者姓名： | 杨传径 陈庆东 李新忠 |
| 作者单位： | 河南科技大学理学院 |
| 摘 要： | 本文利用热丝化学气相沉积方法对不同温度下生长的金刚石薄膜样品进行了表征分析。通过扫描电镜照片分析,从成核理论方面得出了金刚石薄膜生长的最优化温度。 |
| 关 键 词： | 金刚石 薄膜 材料 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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