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| 半导体制造的派工法则之探讨 | |
| 作者单位： | ;1.中芯国际集成电路〈上海〉制造有限公司 |
| 摘 要： | 半导体制造的晶圆代工厂应着产品不同的特性,在除了提供满足客户要求的质量外,还提供多种生产周期的服务。客户依据产品的不同特性,在产品的交货日期和价格间,选择合适的加工模式。晶圆加工厂不仅可以争取更多的客户,而且可以提升产线的整体利用率,降低生产成本,进而避免客户急单对生产线的无序影响。本文讨论晶圆加工厂如何提供多种生产周期产品的派工方法,并修正最小宽裕时间派工法则,利用等候理论估算各工件在各种机台群的等待时间,依机台利用率的不同机台群设置长短的等待时间。随之,考虑各工件尚有多少余裕时间及其剩余的加工步骤中,需经过的机台群及经过的次数,由余裕时间及机台群等待时间的总和,决定各工件派工优先级。本讨论提出的派工法则结果显示,本研究提出的派工法则较先进先出、最早交期、最小宽裕时间及最小余裕比值派工法有较佳的绩效。 |
| 关 键 词： | 派工法则 最小宽裕时间 机台利用率 设备稼动率OEE |
Semiconductor Manufacture Dispatching Rule Study |
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| Keywords: | |