一种用于长间隙工件间隙测量的电容法检测技术研究

对长间隙工件间隙电容法检测技术的原理进行了阐述,开展了检测系统的构成和功能模块设计、标准测量块的设计及研制、探头设计、检测仪器设计等研究工作,对影响检测工艺的影响因素进行了分析,开展了测量系统的评价试验,最终实验数据表明检测精度满足测量要求,探头规格符合检测工况要求,抗干扰能力强,整机符合最初设计的技术要求。