排序方式: 共有2条查询结果,搜索用时 62 毫秒
1
1.
2.
MEMS器件具有重量轻、体积小、功耗低等优点,可以很好地满足各种电子设备的要求,将MEMS的微型传感器用于检测相关参数的功能,已经成为各个领域发展的主要方向之一。与传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景。文中详细绍了MEMS压力传感器件的结构、原理和使用方法,以及MEMS压力传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。 相似文献
1